场发射扫描电镜SEM

产品描述

扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope,SEM）作为重要的微观观测仪器，通过电子枪发射高能电子束，经电磁透镜聚焦成电子探针。电子与样品作用产生二次电子、背散射电子等信号。二次电子成像能清晰呈现样品表面形貌，背散射电子可辅助成分分析。能借助配件实现晶体结构分析、成分分析如元素含量和分布情况。广泛应用于材料科学、纳米技术、半导体及生命科学、工业生产等领域，为科研与工业检测提供可靠解决方案

本场发射扫描电子显微镜是一款高性能扫描电子显微镜，采用先进的电子光学系统和数字化控制技术，具备高分辨率（1nm，15kv）和大景深成像能力。配备了二次电子（SE）和背散射电子（BSE）探测器，支持多种样品（金属、陶瓷、生物、碳材料、磁性物质等）的微观形貌及成分分析。已选配牛津30平能谱仪（进口EDS），可实现元素定性与定量分析，已选配背散探测器和快速换样仓，能够通过快速而又精准的测试服务。

技术参数：

分辨率	1nm @ 15 kV，SEM	图像格式	TIFF、JPG、PNG、BMP等
分辨率	1.5nm @ 1 kV，SEM	能谱规格	牛津Xplore 30，当前分辨率 126eV
加速电压	0.02KV ~ 30 kV	能谱格式	Word、pdf图文报告
放大倍率	1 ~ 2,500,000 x	能谱精度	相对误差通常在1%-3%之间（如Fe、Cu、Zn等），具体取决于校准和样品均质性
电子枪	高稳定性肖特基（Schottky）热场发射电子源	样品台行程	X=120 mm，Y=115 mm，Z=50 mm。支持大范围 T: -10°~+75°，R: 360°。多角度倾斜观测
自清洁	速普等离子清洗RPS50	最大样品尺寸	Ф250mm，高度50mm
自动功能	自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散	样品要求	样品须无挥发性、无腐蚀性支持磁性样品
摄像头	双摄像头（光学导航+样品仓内监控）	测试时间	常规1~3天，加急＜12h

应用领域：

锂电、芯片半导体及电子元器件、陶瓷和建筑材料、化工和医学材料、金属和各类碳材料等。

服务特点:

分辨率极高，在低压下也能实现超高分辨率清晰成像。适用于多种材料包含磁性材料，配备等离子清洁，杜绝污染和干扰。采用大口径能谱牛津Xplore 30，能量分辨率可达 ≤129eV（Mn Kα）100,000cps，可精准识别轻元素（B, C, N, O）及重元素。支持实时元素成像与自动相分析，定量结果符合 ISO 15632 标准，重复性好。分析的最低含量是0.＃%（注：＃是因元素不同而有所变化）。

配备有封闭式无尘标准测试间，测试设备均配备有加密系统并断网使用。极大程度保障数据安全性和测试的稳定可靠。可根据您的要求进行制样（液氮脆断，截面、粉末颗粒、膜的拍摄方向）、按照您的倍速、角度等参数进行拍摄和测试标记等。可提供原料的烘干、真空干燥、留存服务。

样品要求：

参数	规格
尺寸	建议尺寸：5mm×5mm×2mm（便于固定），或者粉末＞50mg
导电性	导电样品：金属、半导体等可直接观察。非导电样品：如需高分辨率，则需提供喷镀金（Au）、铂（Pt）或碳（C）膜（厚度5-20nm）的样品
干燥性	必须完全干燥，无挥发性成分（如水、油、有机物残留）。生物样品需脱水处理（临界点干燥或冷冻干燥）
清洁度	表面无污染物（油脂、粉尘、氧化层等）
稳定性	高温或高真空下不变形、不挥发（耐真空度≤10⁻³~10⁻⁵ Pa）
表面形貌	避免过于粗糙（理想分辨率下，高度差≤40mm）

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